Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Данилин, Б. С. |
| Апублікавана: | М. : Энергоатомиздат , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
326, [1] с. : ил. ; 22 см
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||