Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, Б. С. |
| Опубликовано: | М. : Энергоатомиздат , 1989 |
| Физические характеристики: |
326, [1] с. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||