|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34259800000 |
| 005 |
20190424150957.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 31 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-73782]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазменное технологическое оборудование микроэлектроники
$e Учеб. пособие по курсу «Вакуум., плазмохим. и элионное оборуд.»
$f В. В. Гусев, В. И. Кузнецов, Б. Г. Виноградов
$g Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 102 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 100 (10 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 400 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Плазменные установки
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронная аппаратура - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Гусев
$b В. В.
$g Владимир Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кузнецов
$b В. И.
$g Владимир Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Виноградов
$b Б. Г.
$g Борис Германович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
