Плазменное технологическое оборудование микроэлектроники: Учеб. пособие по курсу «Вакуум., плазмохим. и элионное оборуд.» / В. В. Гусев, В. И. Кузнецов, Б. Г. Виноградов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гусев, В. В. |
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1988 |
| Физические характеристики: |
102 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||