Получение и электрофизические свойства реактивно распыленных пленок оксидов и нитридов кремния, алюминия, титана: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. кавд. физ.-мат. наук: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гурин, В. Н. |
| Опубликовано: | Харьков , 1982 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||