Разработка системы сомещения установок и гибких производственных модулей электронной проекционной литографии для производства СБИС с субмикронными размерами элементов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Громов, В. И. |
| Publié: | М. , 1987 |
| Description matérielle: |
27 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||