Исследование процессов травления ионными и атомными пучками, стимулированных потоком фторсодержащих радикалов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН СССР, Физико-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Горбатов, Ю. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
11 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||