Исследование, разработка и унификация методов оценки и повышения надежности технологических систем обработки полупроводников: (05.02.10): (На примере спец. отрезных станков). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Всесоюз. науч.-исслед. ин-т по нормализации в машиностроении
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Головенко, А. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1975 |
| Физические характеристики: |
30 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||