Исследование проблем прецизионного совмещения и формирования изображений в процессе прямого экспонирования резистов электронным пучком: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электронной техники
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Фоломешкин, А. Н. |
| Publicado: | М. , 1987 |
| Descripción Física: |
26 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||