Аппаратура для получения полупроводниковых материалов высокой чистоты методами зонной очистки: (Обзор иностр. патентов)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ферштер, Л. М. |
| Опубликовано: | М. , 1967 |
| Физические характеристики: |
28 с. : черт. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ЦНИИПИ. Техн.-экон. исследования. 2 серия. Полупроводниковая техника
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||