Разработка высокоэффективных технологических процессов формирования функциональных тонких пленок, стимулированных лазерным излучением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Федосенко, Н. Н. |
Опубликовано: | Мн. , 1992 |
Физические характеристики: |
25 с.
|
Язык: | Русский |
Е-документ: |
E-документ
|