Влияние имплантации ионов кремния и селена на состав, структуру и электрофизические характеристики полуизолирующего арсенида галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (02.00.04) / Моск. ин-т тон. хим. технологии им. М. В. Ломоносова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ушаков, Б. В. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||