
Исследование процесса роста эпитаксиальных слоев карбида кремния на α-SiC(6H) подложках и электролюминесцентных характеристик полученных структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Умурзаков, А. |
Published: | Ташкент , 1980 |
Physical Description: |
23 с.
|
Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|