|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr32214410000 |
| 005 |
20070709155534.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070709d1984 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Создание систем комплексной автоматизации научно-технических исследований, проектирования и управления технологическими процессами в микроэлектронике
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e (05.13.06 ; 05.13.12)
$f АН СССР, Сиб. отд-ние Ин-т автоматики и электрометрии
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 41 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 36-41 (58 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Толстых
$b Б. Л.
$g Борис Леонтьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070709
$g psbo
|
