Создание систем комплексной автоматизации научно-технических исследований, проектирования и управления технологическими процессами в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.13.06 ; 05.13.12) / АН СССР, Сиб. отд-ние Ин-т автоматики и электрометрии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Толстых, Б. Л. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1984 |
| Физические характеристики: |
41 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||