Исследование оптических постоянных полупроводниковых материалов и структур методом спектроэллипсометрии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.03) / Ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сухорукова, М. В. |
| Опубликовано: | СПб. , 1992 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31691750000 | ||
| 005 | 20070629171149.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070629d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование оптических постоянных полупроводниковых материалов и структур методом спектроэллипсометрии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.03) $f Ин-т точ. механики и оптики |
| 210 | # | # | $a СПб. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.03 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сухорукова $b М. В. $g Марина Вилевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |