Исследование оптических постоянных полупроводниковых материалов и структур методом спектроэллипсометрии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.03) / Ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сухорукова, М. В. |
| Опубликовано: | СПб. , 1992 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||