Синтез слоев SiO{н.инд.}(x)(O≤X≤2) осаждением из газовой фазы, содержащей SiH4 и N2O: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04) / Сиб. отд-ние АН СССР, Ин-т химии твердого тела и переработки минерал. сырья
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Сухов, М. С. |
| Апублікавана: | Новосибирск , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
18 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||