К вопросу проектирования ускорителя ионов для промышленных установок ионного легирования

Сохранено в:
Шифр документа: АНД757231,
Вид документа: Книги
Автор: Стародубцева, Т. П.
Опубликовано: Новосибирск , 1972
Физические характеристики: 19 с. : черт. ; 23 см
Язык: Русский
Серия: Препринт ИЯФ 28-72
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr31355770000
005 20070628183553.0
010 # # $d Б. ц. 
021 # # $a RU  $b [72-45378] 
100 # # $a 20070628d1972 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a К вопросу проектирования ускорителя ионов для промышленных установок ионного легирования 
210 # # $a Новосибирск  $d 1972 
215 # # $a 19 с.  $c черт.  $d 23 см 
225 2 # $a Препринт  $f Ин-т ядерной физики Сиб. отд-ния АН СССР  $v ИЯФ 28-72 
300 # # $a Список лит. в конце книги (10 назв.) 
345 # # $9 250 экз. 
610 0 # $a Ионы - Ускорение 
610 0 # $a Ускорители заряженных частиц - Проектирование 
610 0 # $a Полупроводники - Легирование ионное 
675 # # $a 621.384.628.001.2+621.382.002:66.046.516 
700 # 1 $a Стародубцева  $b Т. П. 
701 # 1 $a Пирушкин  $b Е. А. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070628  $g psbo