![](/themes/root/images/default-cover.png)
К вопросу проектирования ускорителя ионов для промышленных установок ионного легирования
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Стародубцева, Т. П. |
Опубликовано: | Новосибирск , 1972 |
Физические характеристики: |
19 с. : черт. ; 23 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Препринт
ИЯФ 28-72 |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|