Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника: (Процессы образования монокристал. слоев для микроэлектроники) / Т. Д. Смородина, Н. Н. Шефталь, А. П. Цуранов
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Смородина, Т. А. |
Опубликовано: | Л. : Наука. Ленингр. отд-ние , 1986 |
Физические характеристики: |
173 с. : ил. ; 22 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|