Травление Si и пленок SiO2 во фтор- и хлорсодержащих ионизированных средах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.01) / Том. гос. ун-т им. В. В. Куйбышева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рябов, С. Н. |
| Опубликовано: | Томск , 1986 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr29871390000 | ||
| 005 | 20220304103616.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070611d1986 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Травление Si и пленок SiO2 во фтор- и хлорсодержащих ионизированных средах $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $e (02.00.01) $f Том. гос. ун-т им. В. В. Куйбышева |
| 210 | # | # | $a Томск $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-21 (19 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 02.00.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Рябов $b С. Н. $g Сергей Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070611 $g psbo |