Травление Si и пленок SiO2 во фтор- и хлорсодержащих ионизированных средах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.01) / Том. гос. ун-т им. В. В. Куйбышева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рябов, С. Н. |
| Опубликовано: | Томск , 1986 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||