|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr28846800000 |
| 005 |
20110808171452.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [78-68406]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070529d1978 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Сов. радио
$d 1978
|
| 215 |
# |
# |
$a 96 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера. Электроника
$v 18
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 92-95 (71 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 17000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002]:776
|
| 700 |
# |
1 |
$a Пресс
$b Ф. П.
$g Феликс Павлович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070529
$g psbo
|
