Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пресс, Ф. П. |
| Опубликовано: | М. : Сов. радио , 1978 |
| Физические характеристики: |
96 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Массовая б-ка инженера. Электроника
18 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||