Разработка фотолитографического метода производства кремниевых приборов: Автореферат дисс. на соискан. учен. степени канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пресс, Ф. П. |
| Опубликовано: | М. , 1963 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||