Управление свойствами материалов микроэлектроники ионными пучками и пути их эффективного применения: Автореф. дис. на соиск. учен. степени д-ра физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пранявичюс, Л. И. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
40 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||