Получение эпитаксиальных слоев кремния сублимацией в вакууме и их исследование: Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук: (046) / Горьковский гос. ун-т им. Н. И. Лобачевкого
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Постников, В. В. |
Опубликовано: | Горький , 1969 |
Физические характеристики: |
18 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|