Получение и исследование кислородсодержащих соединений рутения с двух- и трехвалентными металлами, применяемых в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попова, Т. Л. |
| Опубликовано: | Киев , 1983 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||