Исследование и разработка процесса полирования кварцевых пластин абразивными суспензиями, содержащими поверхностно-активные вещества, для фотолитографического производства камертонных резонаторов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.14) / НИИ часовой пром-сти
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пономарева, В. А. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||