|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr28529050000 |
| 005 |
20180710105018.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 14 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-92698]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070529d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология многослойных структур для микроэлектроники
$e Разд. : Технология тонкопленоч. интеграл. схем : Курс лекций
$f Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 75 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 75 (6 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 250 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Полистанский
$b Ю. Г.
$g Юрий Григорьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070529
$g psbo
|
