Технология многослойных структур для микроэлектроники: Разд. : Технология тонкопленоч. интеграл. схем : Курс лекций / Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Полистанский, Ю. Г. |
| Апублікавана: | М. , 1987 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
75 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||