Технология многослойных структур для микроэлектроники: Разд. : Технология тонкопленоч. интеграл. схем : Курс лекций / Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Полистанский, Ю. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
75 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||