Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Пилипенко Владимир Александрович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Пилипенко, В. А. (род. 1949) |
| Апублікавана: | Минск , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
33 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||