|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-rr28253990000 |
005 |
20201216095022.0 |
100 |
# |
# |
$a 20070525d1990 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника
$f Пилипенко Владимир Александрович
$g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники АН БССР
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1990
|
215 |
# |
# |
$a 33 с.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 27―33 (71 назв.)
|
333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2658644
$a ИМПУЛЬСНАЯ ФОТОННАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33558
$a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3(043.3)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrsssr
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-241260
$a Пилипенко
$b В. А.
$g Владимир Александрович
$c доктор технических наук
$f род. 1949
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar2460032
$a Институт электроники
$c Минск
$4 995
|
712 |
0 |
0 |
$3 BY-NLB-ar13897297
$a "Интеграл"
$g научно-производственное объединение
$c Минск
$b Специальное конструкторско-технологическое бюро
$4 595
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070525
$g psbo
|