Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника / Пилипенко Владимир Александрович

Gespeichert in:
Шифр документа: 122110/90СК,
Format: Авторефераты диссертаций
1. Verfasser: Пилипенко, В. А. (род. 1949)
Veröffentlicht: Минск , 1990
Beschreibung: 33 с.
Sprache: Русский
Schlagworte:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-rr28253990000
005 20201216095022.0
100 # # $a 20070525d1990 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника и микроэлектроника  $f Пилипенко Владимир Александрович  $g Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники АН БССР 
210 # # $a Минск  $d 1990 
215 # # $a 33 с. 
320 # # $a Библиография: с. 27―33 (71 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2658644  $a ИМПУЛЬСНАЯ ФОТОННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-241260  $a Пилипенко  $b В. А.  $g Владимир Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2460032  $a Институт электроники  $c Минск  $4 995 
712 0 0 $3 BY-NLB-ar13897297  $a "Интеграл"  $g научно-производственное объединение  $c Минск  $b Специальное конструкторско-технологическое бюро  $4 595 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070525  $g psbo