Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия / [И. М. Скворцов, И. И. Лапидус, Б. В. Орион и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : Энергия , 1978 |
| Физические характеристики: |
135 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 4 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||||||||||||