Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: материалы конференции "Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники (23―25 ноября 1971 г.): [сборник статей / ответственный редактор И. Г. Блинов]
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Publié: | Москва : Электроника , 1972 |
| Description matérielle: |
59 с., [1] л. схема : табл. ; 26 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров
вып. 1 (9) |
1972, Вып.1: Специальное технологическое оборудование для производства...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||