Специальное технологическое оборудование для микроэлектроники / Под ред. канд. техн. наук Блинова И. Г., канд. техн. наук Иванова В. И.
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | [М.] : МИЭТ , 1968 |
Физические характеристики: |
269 с. : илл. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|