|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr26769760000 |
| 005 |
20161201121436.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 45 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [91-24223]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071220d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Состояние разработок и перспективы использования ЭЦР источников плазмы для технологических процессов формирования пленочных структур в микроэлектронике и оптике
$f А. С. Вус, А. М. Дудкина, В. А. Дудкин и др.
|
| 210 |
# |
# |
$a Харьков
$c ИРЭ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 55 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр.
$f АН УССР, Ин-т радиофизики и электрон.
$v № 90-22
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 50-55 (86 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Осаждение из газовой фазы
|
| 610 |
0 |
# |
$a Плазма (физ.) - Нагрев электронно-циклотронный
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:533.9
|
| 701 |
# |
1 |
$a Вус
$b А. С.
$g Александр Степанович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071220
$g psbo
|
