Состояние разработок и перспективы использования ЭЦР источников плазмы для технологических процессов формирования пленочных структур в микроэлектронике и оптике / А. С. Вус, А. М. Дудкина, В. А. Дудкин и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Харьков : ИРЭ , 1990 |
| Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 90-22 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||