Сборник научных трудов «Активируемые процессы технологии микроэлектроники» / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1980 |
| Физические характеристики: |
123 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||