Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники / В. В. Новиков, А. Н. Пономарев, В. И. Янюк, Г. П. Суслов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Л. , 1988 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сер. "Новое в конструировании и технологии пр-ва радио электрон. аппаратуры"
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||