Прогрессивная технология и автоматизированное оборудование для обработки деталей из неметаллических материалов микроэлектронных устройств: Тез. докл. обл. науч.-техн. семинара, 21-23 сент. 1988 г.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Львов : Львов. НИИматериалов , 1988 |
| Физические характеристики: |
94 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||