|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr24649560000 |
| 005 |
20170613101836.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 3 р. 40 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-61215]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071203d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазменная технология в производстве СБИС
$f [Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др.]
$g Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна; Перевод с англ. Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина; Под ред. Е. С. Машковой
|
| 210 |
# |
# |
$a **.
$c Мир
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 469 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. - Предм.-имен. указ.: с. 463-466. - Перевод изд.: VLSI electronics microstructure science. Vol. 8: Plasma processing for VLSU (Orlando etc., 1984)
|
| 345 |
# |
# |
$9 6250 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие - Детали - Плазменная обработка
|
| 675 |
# |
# |
$a 621**2.049.771.14.002:621.77.9.048.7:533.9
|
| 701 |
# |
1 |
$a Толливер
$b Д.
$g Дональд
|
| 702 |
# |
1 |
$a Айнспрук
$b Н.
$4 340
|
| 702 |
# |
1 |
$a Машкова
$b Е. С.
$g Евгения Сергеевна
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071203
$g psbo
|
