Плазменная технология в производстве СБИС / [Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 166829,
Вид документа: Книги
Опубликовано: **. : Мир , 1987
Физические характеристики: 469 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
166829 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:3:1:41:11 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал