Оценки возможностей лазер-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения для рентгенолитографии / Н. Г. Басов, Ю. А. Быковский, А. В. Виноградов и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
10 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 29 |
| Предмет: |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr24456330000 | ||
| 005 | 20071115174834.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [82-24286] |
| 100 | # | # | $a 20071115d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Оценки возможностей лазер-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения для рентгенолитографии $f Н. Г. Басов, Ю. А. Быковский, А. В. Виноградов и др. |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 10 с. $c черт. |
| 225 | 2 | # | $a Препринт $f АН СССР. Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева $v № 29 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 6-7 (13 назв.) |
| 345 | # | # | $9 100 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Лазерное излучение |
| 675 | # | # | $a 621.373.826 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071115 $g psbo |