Исследование и разработка технологии прецизионного ионного легирования в производстве МДП интегральных микроэлектронных устройств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Яковлев, А. Т. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||