Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07) / Моск. ин-т стали и сплавов
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Шапкарина, Г. Г. |
| Апублікавана: | М. , 1987 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
21 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||