|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr18750380000 |
| 005 |
20070511145747.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070511d1991 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка технологического процесса неразрушающего контроля резистивных слоев с целью анализа интегральных параметров их состояния, необходимых для автоматизации и моделирования этапов фотолитографического процесса
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.12.13)
$f Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 121-23 (24 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.13
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Шапиро
$b А. Г.
$g Александр Гиршевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070511
$g psbo
|
