Лазерный отжиг ионно-легированных полупроводников: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.07) / Ин-т общ. физики АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хайбуллин, И. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
53 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||