Химический метод полировки кремниевых подложек перед эпитаксиальным выращивавием: (Перевод с англ.)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фэйрхерст, К. М. |
| Опубликовано: | М. , 1966 |
| Физические характеристики: |
17 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. лит. Серия. Полупроводниковые приборы, микроэлектроника. ОНТИТЭИ
Пер. № 46/ЭТ-1264 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||