Теоретическое исследование нестационарных процессов прямого радиационного травления полимерных резистов: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Физ.-технол. ин-т АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пантелеев, Е. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17577300000 | ||
| 005 | 20070424175336.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-5414а] |
| 100 | # | # | $a 20070424d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Теоретическое исследование нестационарных процессов прямого радиационного травления полимерных резистов $e (05.27.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f Физ.-технол. ин-т АН СССР |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (7 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Пантелеев $b Е. Г. $g Евгений Геннадьевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070424 $g psbo |